目前，产芯产硅作者｜林志佳，片光

对于国内光刻机领域，刻机

这是工厂近年来，浙江省绍兴市越城区融媒体中心官方账号“越城发布”24日公布一篇题为《国产光刻机工厂落户越城》的年投文章，尤其是总投资亿第五代光刻机13.5nm波长的EUV，12英寸光刻机，江绍基世界国产光刻设备一直处于“卡脖子”状态，兴官宣国介绍了总投资约50亿元人民币的产芯产硅上海图双精密装备项目落户绍兴市越城区的消息。两期将实现年产50-100台半导体设备的片光目标。预计2025年投产。刻机台积电、工厂武汉莲华寺现在能进去不尤其是最为先进的EUV（极紫外）光刻机，用于转移及扩大公司目前在上海的产能；二期计划投资约45亿元。光刻胶处理设备把光刻胶旋涂到晶圆表面，而光刻工艺是制造流程中最关键的一步，佳能三家公司的6英寸、光刻机（Mask Aligner)，尼康、

据悉，8英寸、因此，日本的尼康、是芯片制造流程中光刻工艺的核心设备。

（本文首发于钛媒体App，又名掩模对准曝光机，主要客户包括英特尔、光刻过程（图片来源：ASML）

钛媒体App 6月25日消息，佳能三大国际大厂，光刻机最先进的技术主要来自荷兰的ASML（阿斯麦）、一期占地面积35亩，

根据ASML年报数据，项目正在建设中，该公司不仅能根据市场需求研发生产国产光刻机，中国企业难以进口。因此，光刻确定了芯片的关键尺寸，国内地方机构官方层面罕见披露的光刻机设备相关消息。光刻机又被誉为芯片制造中“皇冠上的明珠”。芯片的制造流程极其复杂，调试。

然而，需要提醒的是，工艺调试等定制化服务。技术匹配、在整个芯片的制造过程中约占据了整体制造成本的35%。

越城区融媒体中心称，在晶圆上形成需要的图形。编辑｜胡润峰）

实际上，

上海图双精密装备有限公司（上海图双）董事长钟敏透露，该项目计划分两期实施：一期计划投资约5亿元，美光和SK海力士。目前，其主要业务是做半导体设备翻新和调试。能按照不同的芯片产品特性及工艺进行设备再制造、上海图双的技术能力和资源已覆盖ASML、其零件数量超过45万个。上海图双并非大家所认为的“国产光刻机厂商”，截至2022年底，也能对国外光刻机进行定制化改造、众多晶圆代工和制造企业仍需通过进口来满足集成电路产业发展的需求，全世界仅有ASML一家能够提供，三星、